電子半導(dǎo)體行業(yè)真空應(yīng)用知識(shí)
電子半導(dǎo)體行業(yè)中的電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、繼電器、激光、離子注入設(shè)備、離子刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、分子束外延設(shè)備、集成電路封裝、其他半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備等。均在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測(cè)試設(shè)備，機(jī)械手，自動(dòng)化真空清掃等等鍵合工序里所需用真空為（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部份還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染。下面臺(tái)冠真空泵技術(shù)團(tuán)隊(duì)工程師們，給大家分享電子半導(dǎo)體行業(yè)真空應(yīng)用知識(shí).希望能夠給大家?guī)?lái)幫助.
一、按真空分類
生產(chǎn)真空為（中高真空）
1、生產(chǎn)用真空主要通過(guò)高真空使工作空間空氣減少，保持工作空間的潔凈，主要使用的真空泵類型包括干泵（干式螺桿真空泵、爪式泵）和分子泵及其機(jī)組。
工藝真空（粗真空）
2、工藝真空主要利用負(fù)壓吸附進(jìn)行工件搬運(yùn)或夾持，螺桿泵、爪式泵等干泵以及水環(huán)泵、旋片泵、微油螺桿泵。
清掃真空（粗真空）
3、清掃真空主要利用負(fù)壓與大氣壓差進(jìn)行液體或顆粒的清除或輸送，此類應(yīng)用主要采用水環(huán)泵和多級(jí)離心風(fēng)機(jī)。
較早時(shí)，油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類，最主要的特點(diǎn)是真空度高，能滿足新型行業(yè)的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復(fù)式真空泵為主要代表。因不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等受限，但隨著真空泵的研發(fā)生產(chǎn)技術(shù)提升，轉(zhuǎn)而采用清潔；安全；耐磨；造價(jià)低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動(dòng)小，噪音低等優(yōu)勢(shì)的干式真空泵，就滿足半導(dǎo)體行業(yè)工藝要求。
干式真空泵類型
1、圓裂片式，爪式，組合式（羅茨＋爪），螺桿式。這些類型被不同生產(chǎn)廠家所廣泛應(yīng)用。其中，圓裂片式，爪式和組合式（羅茨＋爪）被稱為多級(jí)泵。工作方式大致相同，都是利用多級(jí)真空腔對(duì)氣體進(jìn)行反復(fù)的壓縮來(lái)產(chǎn)生真空。
三、按真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
四、半導(dǎo)體行業(yè)真空系統(tǒng)
電子半導(dǎo)體行業(yè)要求真空系統(tǒng)大體分為三個(gè)等級(jí)。
1、清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。
2、中等條件下的抽氣，抽除工藝過(guò)程的反應(yīng)氣體，但無(wú)固體顆粒物。
1、防止真空泵溫度過(guò)高：
比較容易理解這點(diǎn)，半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無(wú)論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過(guò)高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)。
2、真空泵注意氧氣的濃度：
空氣中的氧如果濃度過(guò)高也會(huì)發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險(xiǎn)。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來(lái)稀釋，防止?jié)舛冗^(guò)高；假設(shè)是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時(shí)更換油濾和油品。
3、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度：
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍.
4、定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓：
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。
以上就是為您提供電子半導(dǎo)體行業(yè)真空應(yīng)用知識(shí)，如您有需要了解更多的真空技術(shù),敬請(qǐng)關(guān)注我們下期精彩分享。
一、按真空分類
生產(chǎn)真空為（中高真空）
1、生產(chǎn)用真空主要通過(guò)高真空使工作空間空氣減少，保持工作空間的潔凈，主要使用的真空泵類型包括干泵（干式螺桿真空泵、爪式泵）和分子泵及其機(jī)組。
工藝真空（粗真空）
2、工藝真空主要利用負(fù)壓吸附進(jìn)行工件搬運(yùn)或夾持，螺桿泵、爪式泵等干泵以及水環(huán)泵、旋片泵、微油螺桿泵。
清掃真空（粗真空）
3、清掃真空主要利用負(fù)壓與大氣壓差進(jìn)行液體或顆粒的清除或輸送，此類應(yīng)用主要采用水環(huán)泵和多級(jí)離心風(fēng)機(jī)。
較早時(shí)，油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類，最主要的特點(diǎn)是真空度高，能滿足新型行業(yè)的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復(fù)式真空泵為主要代表。因不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等受限，但隨著真空泵的研發(fā)生產(chǎn)技術(shù)提升，轉(zhuǎn)而采用清潔；安全；耐磨；造價(jià)低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動(dòng)小，噪音低等優(yōu)勢(shì)的干式真空泵，就滿足半導(dǎo)體行業(yè)工藝要求。
干式真空泵類型
1、圓裂片式，爪式，組合式（羅茨＋爪），螺桿式。這些類型被不同生產(chǎn)廠家所廣泛應(yīng)用。其中，圓裂片式，爪式和組合式（羅茨＋爪）被稱為多級(jí)泵。工作方式大致相同，都是利用多級(jí)真空腔對(duì)氣體進(jìn)行反復(fù)的壓縮來(lái)產(chǎn)生真空。
三、按真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
四、半導(dǎo)體行業(yè)真空系統(tǒng)
電子半導(dǎo)體行業(yè)要求真空系統(tǒng)大體分為三個(gè)等級(jí)。
1、清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。
2、中等條件下的抽氣，抽除工藝過(guò)程的反應(yīng)氣體，但無(wú)固體顆粒物。
3、惡劣條件下的抽氣，抽除化學(xué)反應(yīng)物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物。
1、防止真空泵溫度過(guò)高：
比較容易理解這點(diǎn)，半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無(wú)論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過(guò)高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)。
2、真空泵注意氧氣的濃度：
空氣中的氧如果濃度過(guò)高也會(huì)發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險(xiǎn)。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來(lái)稀釋，防止?jié)舛冗^(guò)高；假設(shè)是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時(shí)更換油濾和油品。
3、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度：
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍.
4、定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓：
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。
以上就是為您提供電子半導(dǎo)體行業(yè)真空應(yīng)用知識(shí)，如您有需要了解更多的真空技術(shù),敬請(qǐng)關(guān)注我們下期精彩分享。
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