臺冠馬力機(jī)電詳解干式無油真空泵的原理和類別
目前在工業(yè)制造信息化、自動化、智能化的升級浪潮中，作為“工業(yè)心臟”的泵業(yè)與發(fā)展環(huán)保節(jié)能，提升制造產(chǎn)業(yè)更加緊密相聯(lián)，無油干式機(jī)械真空泵（又簡稱干式機(jī)械真空泵）特點(diǎn)是對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，屬于環(huán)保類產(chǎn)品，被稱為二十一世紀(jì)“綠色真空泵”。干式無油真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。下面臺冠真空泵技術(shù)團(tuán)隊(duì)工程師們，給大家分享廠家詳解干式無油真空泵的原理與類別.希望能夠給大家?guī)韼椭?
干式無油真空泵還有一個(gè)明顯的能力就是不用水來做介質(zhì)，與傳統(tǒng)的真空設(shè)備相比，它可以有效的節(jié)約水資源，減少企業(yè)的能源消耗，真正使企業(yè)的生產(chǎn)更加的環(huán)保，并且可以提升企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的能力。
無油干式真空泵使工作容積中無油，減少因油而花費(fèi)的成本。增強(qiáng)了泵的可靠性。干式泵不受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更耐用，維護(hù)工作更少。
干式無油真空泵工作原理
干式無油真空泵它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
1） 無油往復(fù)真空泵工作原理
靠活塞往復(fù)運(yùn)動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。
2）無油渦旋真空泵工作原理
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
3） 爪式無油真空泵工作原理
爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級都有2個(gè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時(shí)則排氣完畢，如此循環(huán)工作。
4） 干式無油螺桿真空泵工作原理
干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
干式無油真空泵分為下列幾種類型：
1）外部壓縮型螺桿式
在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時(shí)使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計(jì)使得其對氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液唵?，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/span>
2）內(nèi)部壓縮型螺桿式
除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。
3）組合式(馬力+爪)
組合式(馬力+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
4）雙圓裂片式
雙圓裂片式多級設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
5）三葉圓裂片式
三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
以上就是為您提供臺冠馬力機(jī)電廠家詳解干式無油真空泵的原理與類別，如您有需要了解更多的真空技術(shù),敬請關(guān)注我們下期精彩分享。
干式無油真空泵還有一個(gè)明顯的能力就是不用水來做介質(zhì)，與傳統(tǒng)的真空設(shè)備相比，它可以有效的節(jié)約水資源，減少企業(yè)的能源消耗，真正使企業(yè)的生產(chǎn)更加的環(huán)保，并且可以提升企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的能力。
無油干式真空泵使工作容積中無油，減少因油而花費(fèi)的成本。增強(qiáng)了泵的可靠性。干式泵不受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更耐用，維護(hù)工作更少。
干式無油真空泵工作原理
干式無油真空泵它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
1） 無油往復(fù)真空泵工作原理
靠活塞往復(fù)運(yùn)動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。
2）無油渦旋真空泵工作原理
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
3） 爪式無油真空泵工作原理
爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級都有2個(gè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時(shí)則排氣完畢，如此循環(huán)工作。
4） 干式無油螺桿真空泵工作原理
干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
干式無油真空泵分為下列幾種類型：
1）外部壓縮型螺桿式
在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時(shí)使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計(jì)使得其對氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液唵?，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/span>
2）內(nèi)部壓縮型螺桿式
除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。
3）組合式(馬力+爪)
組合式(馬力+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
4）雙圓裂片式
雙圓裂片式多級設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
5）三葉圓裂片式
三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
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